添加时间：2017-11-17 09:02:33 浏览1339 来源：本站
| 直径 | 50 +/- 0.5 毫米 |
| 种类 / 掺杂物 | P/Boron |
| 晶向 | < 100 > +/- 1º |
| 等级 | 测试级 |
| 电阻值 | 1 – 100 Ω-cm |
| 镜像电阻梯度 | — |
| 氧 | — |
| 碳 | — |
| 金属 |
< 5 x E10 原子/ 平方厘米 |
| 厚度 | 279 +/-50微米 |
| 厚度变化 | <= 10微米 |
| 整体平整度 | |
| 弯曲度 | <= 50微米 |
| 平整度 | 1或2 SEMI标准值 |
| 颗粒数 | <= 20 @ >= 0.3微米 |
| 抛光 | 单面抛光或双面抛光 |
| 蚀刻 | 单面抛光或双面抛光 |
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