公司拥有符合国际标准的现代化厂房及生产设备,并且拥有行业资深的技术团队。公司始终将产品质量视为生命,同时努力进行科研攻坚,开发出多领域、多品种的半导体材料系列,公司将继续保持开拓创新,不断进取的精神,提升核心竞争力,实现跨越式发展,成为服务于多方面的硅片供应商。

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  • 公司(简称FSM)成立

  • 厂房占地面积近

  • 团队人员经验

主营业务
  • FSM可以提供从2寸到12寸各种规格的Dummy wafer,自有工厂,品质稳定,交货期可控。并有各种检测设备,可提供需要的参数检测服务。
  • 测试级晶圆片是高质量的晶圆片,相较于生产级晶圆片,较少规格要求。
  • FSM提供和定制各种尺寸的镀膜片,如Thermal Oxide wafer, PETEOS wafer, Nitride wafer,  POLY, Cu, W, TiN, TaN, PR wafer 等;同时接受接受客户定制Pattern wafer服务。另外还提供各种尺寸和规格的玻璃片Glass wafer,SiC wafer 等三代半半导体产品。
  • 我们的 SOI 晶圆由顶层器件硅层、埋氧层(BOX)和衬底硅层组成,直径覆盖 2 至 8 英寸。层厚公差控制在 ±5% 以内,总厚度偏差(TTV)小于 5μm,翘曲度(Bow)小于 20μm。掺杂类型可选 P 型(硼)、N 型(磷)或本征(未掺杂),电阻率范围 0.001 至 20,000+ Ω·cm,可满足 CMOS 逻辑、射频、MEMS 及功率半导体等多种应用需求。
  • 采用垂直梯度凝固法(VGF)生长,规格覆盖 2、3、4 英寸,晶向为 <100>。可提供未掺杂及掺杂(N 型:硫/锡;P 型:锌)两种类型,外延级表面处理,TTV、翘曲度、弯曲度均控制在 15μm 以内,适用于光通信及光电器件制造。
  • 采用氢化物气相外延法(HVPE)生长,可提供半绝缘型(铁掺杂)及 N 型(锗掺杂或未掺杂)两种类型,晶向为 C 面 <0001>。这类自支撑 GaN 衬底位错密度低(低至 1~9×10⁵/cm²),正面粗糙度极低(Ra ≤0.2nm),TTV 小于 15μm,弯曲度和翘曲度均小于 20μm,是功率器件和射频器件应用的高质量外延级衬底。
  • 采用 VGF 法生长,规格覆盖 2、3、4 英寸,晶向为 <100> 和 <111>。可提供未掺杂及掺杂(N 型:硫/锡;P 型:锌)两种类型,TTV 小于 15μm,弯曲度小于 10μm,翘曲度小于 15μm,表面为外延级抛光或腐蚀处理,适用于红外及高速电子器件应用。
  • 采用 VGF 法生长,规格覆盖 2 和 3 英寸,晶向为 <100>。可提供未掺杂及掺杂(N 型:硫/锡;P 型:锌)两种类型,外延级表面处理,TTV、翘曲度、弯曲度均控制在 15μm 以内,适用于红外探测及传感应用。
  • 规格覆盖直径 50.8mm 至 200mm(2 至 8 英寸),厚度根据尺寸从 430μm 至 1300μm 不等。晶向可选 C 面、R 面、M 面、A 面,表面处理可选双面抛光或单面抛光,表面质量优异(Ra ≤0.3nm),翘曲度小于 10μm,TTV 控制在 3μm 以内,是光电器件及光学应用的可靠衬底材料。
  • FSM与世界各大晶圆厂均有策略性合作关系。 虽然99%的晶圆片材料为未拆封之全新晶圆片, FSM也提供晶圆片抛光服务。
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生产基地
2大生产基地

全球 2 大生产基地(上海、东京)

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上海晶仕光半导体加工有限公司(简称FSM)成立于2008年8月,是专业从事半导体硅片再生、加工、贸易的企业。公司坐落于上海市浦东新区外高桥保税区,标准化厂房占地面积近1200平方米。共有员工近百人,由在半导体抛、切、磨领域具备5年以上经验的专业人才所组成的优秀团队。