产品介绍

InAs 是一种窄禁带三五族化合物半导体材料,由铟(In)和砷(As)组成,具备高电子迁移率和优异的红外响应特性。InAs 晶圆常用于制造红外激光器、光电探测器及高速低功耗晶体管,同时也是量子阱、量子点等前沿器件结构研究的重要材料平台。

我们的 InAs 晶圆采用 VGF 法生长,规格覆盖 2、3、4 英寸,晶向为 <100> 和 <111>,可提供未掺杂及多种掺杂类型。晶片尺寸精度与平整度控制严格,广泛应用于红外激光器、高速低功耗晶体管及热光伏电池制造。

应用场景

- 红外光电探测器与激光器 

- 高速低功耗晶体管(得益于高电子迁移率) 

- 热光伏(TPV)电池 

- 量子阱与量子点器件结构

为什么选择我们?

VGF 工艺生长,规格覆盖全面(2~4 英寸)

弯曲度可控制在 10μm 以内,行业内属较高标准

未掺杂、N 型、P 型多种类型可选

表面可选抛光或腐蚀处理,适配多种下游工艺

参数规格
砷化铟(InAs)晶圆规格
晶体生长方法 VGF
类型/掺杂剂 Undoped // N/S/Sn // P/Zn
直径(mm) 50.8±0.3 76.2±0.3 100±0.3
厚度(um) 500±25 600±25 800±25
主定位边长度(mm) 16±2 22±2 32.5±2
副定位边长度(mm) 8±2 12±2 18±2
晶向 <100>,<111>
TTV(um) ≤10 ≤10 ≤15
Bow(um) ≤10 ≤10 ≤15
Wrap(um) ≤15 ≤15 ≤15
表面状态 抛光/蚀刻
外延就绪 Yes