产品介绍

InP 是一种三五族化合物半导体材料,由铟(In)和磷(P)组成。相比传统硅材料,InP 具有更高的电子迁移率和直接带隙特性,使其在高速光电子器件领域具有独特优势。InP 晶圆是制造光通信激光器、光电探测器等光子器件不可替代的基础材料,在数据中心、5G通信及光纤网络建设中发挥着重要作用。

我们的 InP 晶圆采用垂直梯度凝固法(VGF)生长,规格覆盖 2、3、4 英寸,晶向为 <100>,可提供未掺杂及多种掺杂类型。晶片外延级表面处理,尺寸精度与平整度控制严格,广泛应用于光通信激光器、光电探测器及光子集成电路制造。

应用场景

- 光通信用激光二极管与光电探测器

- 高频高电子迁移率晶体管(HEMT/HBT)

- 光子集成电路

- 多结太阳能电池衬底

为什么选择我们

VGF 工艺生长,晶体质量稳定

未掺杂及 N 型、P 型多种掺杂类型可选,满足不同器件设计需求

TTV、弯曲度、翘曲度均控制在 15μm 以内,保障外延生长一致性

表面达到外延级标准,可直接用于后道工艺


参数规格
磷化铟(InP)规格参数
晶体生长方法 VGF
类型 / 掺杂剂 Undoped // N/S/Sn // P/Zn
尺寸 2inch 3inch 4inch
直径(mm) 50.8±0.3 76.2±0.3 100±0.3
厚度(um) 350±25 625±25 625±25
外定位边(mm) 16±2 22±2 32.5±2
内定位边(mm) 8±2 12±2 18±2
晶向 (100)±0.5
TTV(um) ≤10 ≤15 ≤15
Bow(um) ≤15 ≤15 ≤15
Wrap(um) ≤15 ≤15 ≤15
表面状态 抛光面 / 蚀刻面
Epi-ready Yes