产品介绍

GaAs 是一种三五族化合物半导体材料,由镓(Ga)和砷(As)组成。相较于硅材料,GaAs 具有更高的电子迁移率和更好的高频特性,同时属于直接带隙材料,发光效率更高。GaAs 晶圆是射频芯片、LED、激光二极管及高效太阳能电池制造的核心衬底材料,广泛应用于移动通信、卫星通信及新能源领域。

我们的 GaAs 晶圆是采用 VGF 或 LEC 法生长的单晶衬底,晶向覆盖 <100> 和 <111>,规格范围 2 至 6 英寸。可提供未掺杂及多种掺杂类型,正面达到外延级抛光标准,广泛应用于射频芯片、LED、激光二极管及高效太阳能电池制造。

应用场景

- 射频与微波器件(功率放大器、单片微波集成电路MMIC)

- LED及激光二极管衬底

- 高效太阳能电池(多结与单结)

- 高电子迁移率晶体管(HEMT)与异质结双极晶体管(HBT)

为什么选择我们?

VGF/LEC 双工艺路线,可根据应用需求灵活选择

一级、二级定位平边精度高,便于晶向识别与产线自动化处理

迁移率范围宽(1500~5000 cm²/V·sec),满足不同器件性能要求

正面外延级抛光,表面质量稳定可靠


参数规格
砷化镓(GaAs)晶圆规格
直径 50 ~ 150MM ± 0.25MM(2″ 3″ 4″ 6″)
材料 单晶砷化镓
晶体生长方法 VGF / LEC
晶向 <100> / <111>
晶向 偏角 α 0 ± β 0;偏角 α 及精度 β 可按客户需求定制
掺杂剂 Undoped / Zn / Si / Te
厚度 350 ± 25um / 550 ± 25um / 625 ± 25um
迁移率 1500 ~ 3000 / 3000 ~ 5000 cm2 / V·sec
主定位边 <0-1-1> ± 0.5deg, 16 ±1.0mm / 22±1.0mm / 32.5±1.0mm
副定位边 <0-1-1> ± 5.0 deg, 8 ±1.0mm / 11±1.0mm / 18±1.0mm
正面 Prime 级,抛光,外延就绪
背面 抛光 / 研磨 / 蚀刻
Epi-ready Yes