产品介绍

GaN 是一种宽禁带三五族化合物半导体材料,由镓(Ga)和氮(N)组成,具备高击穿电压、高电子饱和速率及优异的耐高温特性。相较于传统硅基功率器件,GaN 器件能够实现更高的能量转换效率和更小的器件尺寸。GaN 晶圆是新一代功率器件、5G/6G 射频器件及 Mini/Micro LED 制造的核心材料,被广泛视为第三代半导体的代表性材料之一。

我们的 GaN 晶圆采用氢化物气相外延法(HVPE)生长,属自支撑衬底,可提供半绝缘型及 N 型两种类型,晶向为 C 面 <0001>。晶体位错密度低、表面粗糙度极低,广泛应用于功率器件、5G 射频器件及高亮度 LED 制造。

应用场景

- 功率电子器件(肖特基二极管、垂直功率晶体管) 

- 射频及高频器件(用于5G/6G应用的高电子迁移率晶体管HEMT) 

- 高亮度发光二极管与激光二极管 

- 需要低缺陷氮化镓同质衬底的高电子迁移率晶体管(HEMT)

为什么选择我们?

HVPE 工艺生长自支撑 GaN 衬底,晶体质量高

位错密度低至 1~9×10⁵/cm²,行业领先水平

正面表面粗糙度极低(Ra ≤0.2nm),适配高精度外延生长

适用于新一代功率器件与 5G/6G 射频器件核心应用场景

参数规格
氮化镓(GaN)晶圆规格
晶体生长方法 HVPE
导电类型 半绝缘 N N
类型/掺杂剂 Fe Ge Undoped
尺寸 10×10.5mm / 100.5 ± mm
主定位边位置 / 长度 <1-100> ± 0.5° / 32.0 ± 1.0mm
副定位边位置 / 长度 <11-20> ± 3° / 18.0 ± 1.0mm
晶向 C 面 <0001>,向 M 轴方向偏角 0.35°±0.15°
电阻率(300k) ≧1E6 ohm-cm <0.05ohm.cm <0.5ohm.cm
腐蚀坑密度 (1~9)E5/cm2,5E5~3E6/cm2,(1~3)E6/cm2
表面粗糙度(nm) 正面表面粗糙度 Ra ≤0.2 nm
TTV(um) ≤ 15
Bow(um) ≤ 20
Wrap(um) ≤ 20
外延就绪 Yes